用户应用要求:主要用于8英寸硅片以下太阳能器件制造中的扩散、氧化工艺;也可用于半导体器件制造中的扩散、氧化、退火及合金工艺,同时还适用于对其他材料的特殊热处理,要求加热控温的控制精度高,线性要好,才达到生产工艺要求,故障率要低,停机维修成本极高。
士兰微到现场了解用户的应用情况,并做了分析和设计,发现带有软启动功能的SCR电力调整器可将温度进行高精度控制, **能适应高阻高效和变浓度扩散工艺的国产设备 精准线制调节,调节精度达到0.5%,性能稳定, 扩散综合使用成本较上一代设备降低20%以上设备有效工作时间较其他国产设备高5%以上,选用了TH系列的单相电力调整器及控制系统。
精准的控制,同时使用稳定性非常好,寿命可达到5年以上,让用户安心的应用在设备上,解决客户问题,无后顾之忧。
在光伏行业设备、光伏晶片生产线,士兰微电子专注行业技术,为该行业研发与制造高端电力调功器、真有效值调功器以及带曲线控制的控制模块等, 为光伏行业设备行业提供了提供温度控制和系统解决方案。 目前在行业得到广泛应用和行业认可,合作用户有:亿晶光电、天合光能等光伏行业设备的行业龙头企业。
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